Resonac: ИИ и отжиг ускорили подбор рецептуры полимера в 5 раз

Resonac производит материалы для полупроводников, в том числе резисты для формирования разводки в полупроводниковых корпусах. По мере уменьшения размеров разводки к светочувствительной смоле резиста предъявляются требования высокого разрешения. Наибольшее влияние на свойства смолы оказывает полимер, от которого требуются одновременно хорошая проявляемость и высокая чувствительность. Полимер состоит из множества мономеров, и подобрать оптимальную рецептуру — виды мономеров и их соотношения — среди огромного числа комбинаций было сложно. Компания ставит задачу быстрее предлагать высокопроизводительные материалы вслед за технологическим развитием полупроводников.

Resonac разработала собственную технологию поиска состава материалов. Сначала задаются несколько целевых значений характеристик, затем ИИ-модель рассчитывает оптимальные физические свойства полимера, отвечающие этим значениям. После этого применяется технология отжига (annealing) — вычислительный метод, который быстро ищет оптимальное решение и не застревает в локальных минимумах. Он подбирает конкретные мономеры и их соотношения. В примере компании — выбор 5 мономеров из 100 с шагом соотношения 1% — традиционный метод потребовал бы около 100 тыс. лет расчёта, отжиг справляется примерно за 10 секунд.

Технологию проверили на поиске полимера для светочувствительной смолы резиста полупроводниковых корпусов. Опытный образец на основе найденного полимера показал в экспериментах хорошие характеристики; путь от подбора рецептуры до опытного образца сократился в 5 раз по сравнению с работой опытного специалиста. Сейчас компания оптимизирует рецептуру с учётом добавок и других компонентов. На основе технологии построена универсальная система оптимизации рецептур: пользователь вводит целевые свойства композиции и свойства сырья и получает соотношения компонентов. В ноябре 2024 года Resonac сообщила о начале внутреннего развёртывания системы, в том числе для продуктов заднего цикла производства полупроводников.